随着使用(yòng)要求和(hé)工(gōng)藝條件的發展，我們要求産品的尺寸越做越小(xiǎo)，集成度越來(lái)越高(gāo)。觀察和(hé)測量的範圍也(yě)從(cóng)毫米級變成微米級，現(xiàn)在更是演變到(dào)納米級。傳統的探針接觸式表面粗糙度儀漸漸滿足不了(le)最新的測量需求。

今天爲您帶來(lái)的全新的3D立體形貌測量儀，該技術颠覆傳統， 将共聚焦、幹涉和(hé)多焦面疊加技術融合于一身，帶您感受高(gāo)清晰的納米世界。

彩色共聚焦觀察方式使用(yòng)戶能(néng)在視(shì)場内觀察到(dào)納米級的細節。掃描時(shí)用(yòng)紅(hóng)、綠、藍三色LED交替照明(míng)，獲得三張單色的圖像，最後還原成高(gāo)分瀕率彩色圖像和(hé)高(gāo)質量的彩色表面紋理(lǐ)圖。

共聚焦技術可以用(yòng)來(lái)測量各類樣品表面的形貌。 它比光學顯微鏡有更高(gāo)的橫向分辨率,可達0.09 µm。利用(yòng)它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。專利的共聚焦算(suàn)法保證Z軸測量重複性在納米範疇。

白(bái)光幹涉是一種納米級測量精度的用(yòng)于測量各種表面高(gāo)度形貌的技術。它的優勢在于任何放(fàng)大(dà)倍數都可以保證納米級的縱向分辨率

多焦面疊加技術是用(yòng)來(lái)測量非常粗糙的表面形貌。此功能(néng)來(lái)補足低(dī)倍共聚焦測量的需要。該技術的最大(dà)亮(liàng)點是快(kuài)速 (mm/s)、掃描範圍大(dà)和(hé)支援斜率大(dà)（最大(dà)86°）。此功能(néng)對(duì)工(gōng)件和(hé)模具測量特别有用(yòng)。

太陽能(néng)

鏡頭

測量視(shì)頻

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